صفحه 1:
(Vapor Deposition)
صفحه 2:
صفحه 3:
۴ * بخار فیزیکی فلزات ۱
Physical Vapor Deposition
(PVD) 1
* بخار شیمیایی فلزات
Chemical Vapor Deposition
(CVD)
صفحه 4:
° روش ۳۱۷/۲ روشی تمیز و همراه با خلاء .
خشک است.
* در لین روش همه جای شیء مورد عملیات
قرار می گیرد نه یک جای مشخص.
PVD * در لین روش اتمی که در فاز گاز قرار دارد
جاى اتمى كه در فاز جامد را دارد مى كيرد و
مولكول جلبه جا شده به فاز جامد باز مى
كردد. /
صفحه 5:
سه تکنولوژی اساسی برای ۵ ۳۷ وجود دارد:
<روکش کاری یونی
< تبخیر
aes” & PVD
صفحه 6:
CVD * ۲ روشی‌بیلی تسولید محصولاتبا ۱
خاوصو کارلییبللاست
* لین روش معمولا در صنابع نیمه هادی ها
۳ ۱ برای تولید فیلم قلع استفاده می شود.
۱( 8 * در لين روش ویفر در معرض‌یک يا چند مواد
پشیران سبک قرار می گیرد که با سطح مورد
نظر واکنش داده و رسوب مناسب را تولید می
كيده
۱
* اين فرايند معمولا توسط جريان لوده ,
محفظه انجام مى شود.
صفحه 7:
۶ 6۷0 در فرآیندهای‌ساختق طعاتکوچک؛
به طور گ‌سترده مورد لستفاده قرار می
كيرد.
١ ۳ * فرم هاى مختلف مورد استفاده:
6 خک کریشتال-بلی کریستالسبی شکل_هم
بافت ها
* این مواد شامل:
سیلیسکون-رشته کربن-کربن غیر رشته .
ای-کرین های غیر لوله ای-5102- ۰
سیلیکون ژرمانيم-تنگستن-سیلیکون
کاربید -سیلیکون نیترید-تیتانیم نیترید-
صفحه 8:
۱ اطبقه بندی بر اساس فشار عملیات
ت |
۲ فرآیند در فشار اتسفر (۳69)
% فرآیند در فشار (LPCVD) gb
(کاهش فشار باعث کاهش تملیل گازبه تغییر می شود و
1
0/27۳۵ 1 اين موضوع كيفيت كار را بالامى برد.)
۷ فرآیند در خلاء(0۲۱۷۵۱۷0)
لا طبقه بندی بر اساس خصوصیات
AACVDY ۴
DLICVDY
صفحه 9:
۱-تبخیر و انتقال مولکول های پیشران به راکتور
5 ۲-پخش شدن مولکول های پیشران در سطح
گر ۳-جذب سطحی مولکول های پیشران
CVAD
27 ۴-واکنش دادن مولکول های پیشران‌با سطح و
يكى شدن با فيلم
۵-واکنش دوباره و بازكشت به فاز كاز
صفحه 10:
صفحه 11:
* از روش می توان برای ساخت قطعات توپر و .
توخالی استفاده کرد.
* برای ساخت قطعات خللی عی توان از ماده با
دمای تبخیر پایین به عنوان پاییه استفاده
کرد.
* سپس با نشان دادن مولکول های فلز مورد
نظر روی سطح پلیه,قطعه مورد نظر را تولید
کرد.
* با حرارت دادن قطعه می توان ماد پایه را
ذوب کرد.
صفحه 12:
* به روش بخار فلزات نیز می توان قطعات تویر .
ساخت.
eee
نظر را روی آن قرار داد.
** از روش بخار فلزات نیز می توان برای عملیات
حرارتی و مهندسی سطح نیز استفاده کرد.
روش های رایج برای بخار فلزات:
۴۱۵6۲۵۵
۳۱۵5۵
صفحه 13:
صفحه 14:
صفحه 15: