صفحه 1:
استاد راهنما: دکتر راستانی
صفحه 2:
صفحه 3:
فرضيه دوبروىمبنوير خاصيتمو جع ا
رل هر د
Or Ores = IOC yent eae )1
ساختن خستین (96۶6) تجار عتوسط SUE
صفحه 4:
در میک وسکو ینور وشاید بتونبا نی ۱
عدسیها و تعداد آنها بس كنمائ تصاویر را به
علتبلند بودنطولموج خور عملاتصاویرد:
ار 2
بر میکروسکو باکت ونوبسه و
aa ated ۱
eae ery al )| ار
در بعضواز میک وسکویها و کت رونوو با بیشتر)
السكتروزب <لانور نميتواند به اسانودر هوا حى
مسیر ح رکتا اا سیر قو و ٩7
صفحه 5:
Electron ۱۳-0 (
۶ 1 4 0
١1١١١11111100 ۱۱
Nit] ۱ ۱111 1
ار a yh a
صفحه 6:
high-voltage
cable
filament
anode
electron beam
condensor lens
scanning eis adjustable
aperture
objective lens. 9
backscattered
‘energy dispersive ‘electron
xray deiector detectors
secondary
electron
detector sample 4 | infrared
chamber | camera
صفحه 7:
ال ود اد .راز لت
ا ل ل ا ا 1 رار
tLe سس
Wore 0s
تفتكلكترن: -2 1088
نيز به خلادر حنود 107 511011
sic ا از ابا ورور
Electron Electron Gun
Beam لهم
صفحه 8:
Mluminating Source |
(Electron gun) —+\,
Scanning coils —
0060۷۰ ۱۰۰ - 20
Objective lens —__T
aperture
re evry ات رسای ارت
صفحه 9:
سیم بیج های روبشی
ee MC eT Seley Re ا
صفحه 10:
اساکترونها بسه رلحتي توسط مولکوا
gee بر را ان اند صارزبا
خلاز كس يناسن 2 و یل
ce 0 ny EC
صفحه 11:
بمب ضاق خلا فورد استفاده.
SS ee
رت رت زا
ap سپ
۰ .یمپ روغنی؛
صفحه 12:
صفحه 13:
صفحه 14:
oe ار 2۱۷ رز بر
و وا 2
خلاتا * 10 1017
Stator disk
Drive motor
rough pump
Lower bearing
صفحه 15:
Inlet pressure (Pa)
:
2
3
5
é
صفحه 16:
Sputtered
atoms
Magnet" *
5000 V DC
power supply
صفحه 17:
5۴۳ ۱۳۵9۶ ۰۶ 2
photoresist layer
used in
semiconductor
manufacturing taken
0۱ 2 1۱6۱ 5۹۵
SEM at 1000 volts, a
very low accelerating
voltage for an SEM,
but achievable with
field emission SEMs-
this one taken with a
دنرم رین زردنت
6۳0۱55101 ۰ 5۶
5 ۴۳5 2۲6 ۵۳۵۵
52101 111606 01
normal cifculating
human blood) qhis
is an) older and
noisy micrograph
تنل لك
subject for SEM
micrographs: red
blood cells.
Structures and
رزیل رد
Tevealed in
micrographs