میکروسکوپ الکترونی روبشی

صفحه 1:
به ثام خرا ‎a“‏ ‌ ۰ ع ,4 م ۱ موضوع:میلر وسوپ اللتروثی روبشی 

صفحه 2:
تاریخج نفستین تلاش ها در توسعه میلروسلوپ اللترونی روبشی به سال ‎٩۳۵‏ باز ‎ae 77 ۰ i A‏ 4 می لررر له نول و هملارانش در آلمان پژوهش هایی در زمینه پریره های ‎ome‏ راز 8 ون ور ی اللتروتيك نوری انباع رارنر. آررن در سال ‎٩۳۸‏ با اضافه گرن پیپه های ‎a oe a peel a css occ a7‏ جاروب لننره به یل میلروسلوپ اللترونی عبوری توانست میلروسلوپ i 2 اللترونى عبورى روبشى يسازر 

صفحه 3:
ميكروسكوب هاو_الكترونو_روشى_جيست؟ ار ۳۳ قر ‎ff 4 7 SEM,‏ » میلروسلوپ های اللترونی روبشی بالاعاد نوعی میلروسلوپ اللترونی اس تکه قابلیت علس برداری از سطوح با بزرگنمایی ۳ تا مت برابر با ‎Pe.‏ تن ۱ 0 بر لمتراز | تا ۲۰ انومتر (بسته به نوع نمونی یا را SEM _ .. TEM ‏تفاوت ظاهری‎ ۰قدرت ع | 

صفحه 4:
8 اه تعیین مور فو لوا زى سطحى بررسى هورفولوزى يل ماره به معنى بررسى لل و اثراژه آن است. با استفاره از ميلروسلوب ی 8 اللترونى روبشى می توان علاوه بر بررس یکلیت مورفولوژی سطح یک ماره, مورفولوژی ‎Woy GL‏ 5 رز ۲ 7 را هم هورر مطالعه قرار رارء چ راکه استفاره از این نوع میلروسلوپ امکان رست‌یابی تا بزرگنمایی ۳ 3 5 ۳ 2 7 . ۲۶۰ پرایر را هع فراهم می‌لنر. با استفاره از تصاویر با بزرلنمایی لع می‌توان للیات مورفولوژی ‎sf. 4 . a‏ ۳ ۰ 0 82 + سطح, به‌عبارت ‎ly‏ ترالم ریزسافتار و وجور ملاف‌ها يا ترک‌های بزرگ و ‎SOE, Mh‏ موجور ‎ee + ” aft ۳ 8 fu‏ . ۳ در سافتار را بررسی لرر. همپنین, با بزرلنمایی متوسط می توان نموه توزیع زرات, به‌خصوص در موار 2و 1 ‎woe‏ و 2 رم 5 0 ۰ مرلب (لامپوزیتی) را مطالع هگرر. بزرگنمایی پیش تر املان مشاهره یل راه‌هاء وجور عيوبه بسيار ريز ‎oF‏ ۳ ۳ 0 ۰ و 4 1ه «مائثر ميلروعفراته و ميلروتركهاء لل رات انومقیاس و زرات. تجمع یافته را فراهع می‌لنر 

صفحه 5:
۷ برابر و (ت) ۵۰۰ برابر 

صفحه 6:
تفنّك اکلترونی لنزها | 7 ‏يل ميلروسلوب اللترونى روبشى را مى توان اي نكونه نام برر ل‎ hol «silt دیجیتال پردازنده 

صفحه 7:
توضیحات (جزل فك ‎Li ggg ii‏ اللترونی منبع پایراری از اگلترون اس تکه پرتو اللترونی را ساطع می . “nh 9 [1 ۰ ae oe ‏لنزها,بفشی از میلروسلوپ اس تکه پرتو اللترونی را متمرکز,بابه با و اصلاح م یکنر‎ . on 3 oe ۳ 07 0 be te. ‏روزنه هادروزنه ها سوراخ هایی پا ابعار متفاوت رر ملان هاى كونالون لنز ها قرا ركرفته اثر و‎ ‏شونركه از مركز لنز فاصصله رار‎ ig alll obi ‏لامو راطم فط ست لق‎ ‏وه بر كاهش قطر يرتو اللتروئى سبب عزف اللترونهايى مى شونرله از مرلز لنز فاصله رارثر‎ ‏«و اي ن كار فروجى بهترى ايجار م ىكنر‎ 5 2 5 7 3 an aT Cr ae ‏محفظه نمونه:نموثه در فلا میلروسلوپ مورر بررسی قرار می لیرر همپنین به رلیل زیان آور‎ a 4 ۳ 5 ‏لدت‎ 7 5 ‏بورن برفورر اشعه ایلس با نمونه, نموه بایر درون محفظه ای قرار لیر رکه بسیار معلم بوره و‎ 

صفحه 8:
وفعت لجز سیستم لیگ روپ های الترنیتقبت کار م یک هه یلی از مهمترن لیا .الدج «يافتن به پرتو متمرکز تر و عمر پیشتر رستلاه رانست ل سیستم نمایش:سیستم نمایش همان تصویر برست آمره از تمونه کار ما است | 

صفحه 9:
IT ‏ب‎ 

صفحه 10:
oS we le 6