صفحه 1:
صفحه 2:
صفحه 3:
0000 از آنجا که قدرت > تحلیل
ار با ارزش در بررسي
000 در تصویر كردن
» توانايي آن را در حل
te ال برد ات شایان ذکر است اين
پیشرفت هاي حاصل شده در GPO بود که باعث اختراع
دستگاهي با ويژگيهاي BPD كرديد.
ات
صفحه 4:
1
gala برقراز است که سوزن را در فاصله
ن روي سطح حرکت . ميکند» از
ثابت باشد» سوزن مطابق با
es
اه جنس اين
نمايي از سوزن (GER) مي تواند از نیترید سیلیسیم باشد. در شکل
از جنس (961) مشاهده مي شود. به كاركيري اين سوزن در
هاي تجاري مرسوم است. شعاع ظاهري انحناي نوك أن نيز مي
آل نوك اين سوزن بايد
صفحه 5:
شکل ( !۱ ) : ارتباط سوزن و تمونه در ۸1۸1 تمونه مشخص شده با دایرههای سیاه و
سفید توسط مبدلهای پیز والکتر یک روبش میشود.
صفحه 6:
وف مقیاس نانوه دانشگاه رایس
صفحه 7:
ش نمونه با استفاده از قوانين
مي شود. در دستكاه هاي (000)
ليزرء يك دسته اشعه نوري را
۱ اباند. با لرزش و جابجايي فنرء زاويه
تابش لیزر منحرف مي گردد. انحراف صفحه فنر به اندازه
زاویه » منجر به انحراف اشعه لیزر به اندازه 6 0 خواهد
شد. اشعه لیزر منعکس cond توسط مقاطع ديودي حساس به
نور ردگيري مي شود. بدین ترتیب پستي و بلندي هاي آتمي
سطح نمونه قابل رویت خواهد بود . شکل (UG) تصويري
كلي از رديابي در دستگاه (9626) را نشان مي دهد.
صفحه 8:
پخش تنظیم کننده مکان پر نوی لیزر در و بر
د و
۳3
سنن پخش تنظیم کننده تور
۳ الأب دو قبی
|
=
يرتوى ليزه - 2
+
زدیا
سي هو فين
کل ( (16) مفهوم ردیابیفشعه در میکروسکوبپ نیروی ائی.
صفحه 9:
متاثر از سطح نمونه است که آن را نحوه
الكتروني سوزن و اتم هاي
۰ نيروي دافعه وجوددارد. اين
رتاه مي باشد. علاوه براین نیرو»
ند که میتوانند جذب ویا دفع کننده
باشند اين نیروها مي توانند شامل نيروي بار واکنش دروني دو
قطبي ( مها" (Dipole 598 6 دو قطبي( تناس7
دسح" ) و نيروهاي پراكندگي واندروالس (ط) مه
Oidpersion Porves ) _باشند. جذب و دفع اين نیروها را
میتوان درشکل orale (IQ) نمود
صفحه 10:
شکل ( ۱6 ) : واکنشها در سطح قطعه.
صفحه 11:
آوريهاي ميكروسكويي مشابهي
۱ مانند ميكروسكوب بر يايه
ا و مركروسكويم
انند بدون تماس با نمونه و با
نمایند. دراین فن آوري ها نيروي
ali gst det Gives Glee rl
Ole 0 سوزن و نمونه » نمي توان به
قدرت تفكيك اتمي رسيد.
٠ واكنش بين سوزن و نمونه را ميتوان توسط منحني نيرو- فاصله
شرح داد. شکل(۳2)) بیانگر این منحني بوده و چگونگي تغییرات
نیرو درهنگام نزديك شدن سطح نمونه به سوزن را نشان میدهد.
صفحه 12:
با یرخورد ( ۸۴۸
با بر خورد ( 1۸۴0
شکل ( ۷ 1 ): چگونگی تغییرات نیرو بر حسب فاصله.
صفحه 13:
انحراف
سیم نوسانات بعد از آزاد شدن
از سطح
نمونه خطوط شکست
شکل ( 1۸ ): چگوتگی انحرافات بر حسب قاصله.
صفحه 14:
ني از فلزات مختلف »
گرافیت» هالوژن ها و
)را میتوان در موارد زیر
۰ قابلیت تصویر دهي درابعاد اتمي» ازمیکرون به پایین.
* تصاویر حاوي اطلاعات مستقیم عمق و فررفتگي براي اندازه گيري
زبري
٠ سرعت تصویر دهي از هادي ها و عایق هایدون نیاز به پوشش
* امکان مشاهده مستقیم فراینده هاي سطحي درمحیط مایع و یا درهوا
صفحه 15:
شکل ) 19 ): صفحه (۱۱۱) سیلیسیم تهیه شده با ۸۲۲
صفحه 16:
شکل ( ۰( ) : طرح دستگاه اندازهگیری ریز سختی سنجی (به روش دندانهای).
صفحه 17:
شكل ( |ل| ) :كاهش ارتفاع نفوذ دندانه در داخل نمونه با برداشته شدن نبرو.
صفحه 18: