بخار فلزات

بخار فلزات

اسلاید 1: بخار فلزات (Vapor Deposition)محمدرضا شفیعیان 85471507باسمه تعالی

اسلاید 2: Deposition

اسلاید 3: انواع بخار فلزاتبخار فیزیکی فلزاتPhysical Vapor Deposition(PVD)بخار شیمیایی فلزاتChemical Vapor Deposition(CVD)

اسلاید 4: معرفی روش PVD روشی تمیز و همراه با خلاء خشک است.در این روش همه جای شیء مورد عملیات قرار می گیرد نه یک جای مشخص.در این روش اتمی که در فاز گاز قرار دارد جای اتمی که در فاز جامد را دارد می گیرد و مولکول جابه جا شده به فاز جامد باز می گردد.PVD

اسلاید 5: معرفی سه تکنولوژی اساسی برای PVD وجود دارد:روکش کاری یونیتبخیرکاتد پرانیPVD

اسلاید 6: تعاریف و شرایطCVD روشی برای تولید محصولات با خلوص و کارایی بالاست.این روش معمولا در صنایع نیمه هادی ها برای تولید فیلم قلع استفاده می شود.در این روش ویفر در معرض یک یا چند مواد پشیران سبک قرار می گیرد که با سطح مورد نظر واکنش داده و رسوب مناسب را تولید می کند.این فرآیند معمولا توسط جریان گاز و در محفظه انجام می شود.CVD

اسلاید 7: تعریف و کاربردCVD در فرآیندهای ساخت قطعات کوچک به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد.فرم های مختلف مورد استفاده: تک کریستال-پلی کریستال-بی شکل-هم بافت هااین مواد شامل: سیلیسکون-رشته کربن-کربن غیر رشته ای-کربن های غیر لوله ای-SiO2-سیلیکون ژرمانیم-تنگستن-سیلیکون کاربید-سیلیکون نیترید-تیتانیم نیترید-CVD

اسلاید 8: انواع CVDطبقه بندی بر اساس فشار عملیاتفرآیند در فشار اتمسفر (APCVD)فرآیند در فشار پایین (LPCVD)(کاهش فشار باعث کاهش تمایل گاز به تغییر می شود و این موضوع کیفیت کار را بالا می برد.)فرآیند در خلاء(UHVCVD) طبقه بندی بر اساس خصوصیات فیزیکی بخارAACVDDLICVDCVD

اسلاید 9: گام های فرآیند CDV1-تبخیر و انتقال مولکول های پیشران به راکتور2-پخش شدن مولکول های پیشران در سطح3-جذب سطحی مولکول های پیشران4-واکنش دادن مولکول های پیشران با سطح و یکی شدن با فیلم 5-واکنش دوباره و بازگشت به فاز گازCVD

اسلاید 10: CVD

اسلاید 11: کاربرد هااز روش می توان برای ساخت قطعات توپر و توخالی استفاده کرد.برای ساخت قطعات خالی می توان از ماده با دمای تبخیر پایین به عنوان پایه استفاده کرد.سپس با نشان دادن مولکول های فلز مورد نظر روی سطح پایه،قطعه مورد نظر را تولید کرد.با حرارت دادن قطعه می توان ماد پایه را ذوب کرد.

اسلاید 12: کاربرد هابه روش بخار فلزات نیز می توان قطعات توپر ساخت.با ساخت پایه مرکزی می توان بخار فلز مورد نظر را روی آن قرار داد.از روش بخار فلزات نیز می توان برای عملیات حرارتی و مهندسی سطح نیز استفاده کرد.روش های رایج برای بخار فلزات:Electron Beam Plasma

اسلاید 13: نمونه ای از مواد تولیدیCVD

اسلاید 14: نمونه ای از مواد تولیدیCVD

اسلاید 15: پایان