صفحه 1:
صفحه 2:
see paced etl on) ل ل
(دقاء :)عنام (1) جمددوم 8
cat ل ا oem cp? hex
ساخت و مطالعه پوششهای نابازتابندمبا استفاده از روش رشد زاوا
۳ خراشان pL@O)
| عمرانی
صفحه 3:
میکروسکوپ الکترینی روبشی گسیل میدلنی همانند میکروسکوپ 660
است و عموما ویژگیهای اساسی8060) نظیر قدرت تفکیک. عمق تمرکز,
تنوع سیگنالها و پردازش آنهنا را حفظ کرده است. علاوه بر اینها در
0 نیازیبه هادی کردن نمونه وجود ندارد و در ّن امکان ایجاد یک
ie فراهم الدث: همجنين ماهم دياميك سيستم كاز ليع
Electron beam
First condenser ens -|
Spray aperture —}
‘Second condenser ens —|
Xeray detector
Detection coils
Fina ens aperture —} Objective tens
Backscatter |
‘electron detector
هس | رسد
secondary
‘vacuum pump __eleetron detector
صفحه 4:
EE
تفاوت دیگر لین دو میکروسکوپ در تفنگ الکترونی (منبع
تولید الکترون) و روش تولید پرتو الکترهنی است. نوع تفنگ
میکروسکوپ sbi! GBM گرمایسی و میکروسکوپ
۳0 انتشار میدلنی است. تفنگ انتشار میدلنی به
انریی حرارتی برای غلبه بر سد اش من از او
با اعمال میدان الکتریکی بسيا 1
از سطح جدا میشوند.
صفحه 5:
ال *
لثر تونلی به جای لثر انتشار گرملیی باعث
عبور الکترون های تراز هدلیت از سد سطحی
میشود. هنگام عملیات. الکترون ها توسط
میدان ولتاژ اعمال شدهسبه صورت فیزیکی از
نوک بسیار تیز بلور تنگستنی (حدود ۱۰۰
نانومتر شعاع نوک) جدا میشوند. تفنگ
انتشار میدلنی پرتو الکترونی با بیشترین
شدت را تولید میکند که 104 برابر بزرگتر از
تفنگ حراره
بزرگتر از تفنگ حرارتیبا رشته هگزابرید
لانتانیم است که نتیجه آن بهبود قدرت
تفکیک است. ۲69600 اطلاعات عنصری
و توپوگرافیکی را در بزرگنملیی ۱۰تا ۳۰۰۰۰۰
برابر,,با عمق میدان بصری بینهلیت فراهم
میکند. 6800 در مقایسه با
(CEM) تصاویری واضحتر با رزولوشن ١ تا
0كنانومتر فراهم مىكند. اثرات
الکترواستاتیکی منفی بر تصاویر 00
کمتر از 900) است. 0
ها در ولتاژهای پایینتر. رزولوشن بیشتری
صفحه 6:
به طور کلی تواناییهای آنالیز
۳0 به شرح زیر است:
- آنالیز سریع. نسبتأً کم هزینه و
بدون محدودیت در شکل نمونه؛
- توانلیی تصویربرداری به صورت سه
بعدی؛
- تصاویری واضحتر با رزولوشن BY
0/کنانومتر؛
- آنالیز عنصری.
صفحه 7:
2S
4 KPBOCO محدودیتهای آنالیز
صورت زیر است:
- محدودیت Gly تصویربرداری از
نمونههای مرطوب و روغنی؛
- اعمال خلاء میتولند منجر به تخریب
ساختار نمونههای حساس گردد؛
- نمونههای لایه نازکبا استحکام مکانیکی
ضعیف ممکن است با بمباران الکترونی
آسیب دیده و عکسبرداری در
بزرگنماییهای بالا صورت نگیرد؛
- حساسیت پایین برای آنالیز عنصری برای
عناصر با عدد اتمی پایین.
صفحه 8:
طراحی. ساخت و مطالعه پوششهای ابازتابنده با استفاده از روش رشد
زاویه ای خراشان 610
عمرانی. امیرحسین ؛ زارعی مقدم. رضا؛ احسانی. محمدحسین؛ رضاقلی پور دیزجی, حمید
مقاله کنفرانسی دهمین کنفرانس تکنیک خلا ایران _دانشگاه صنعتی اصفهان
دانشکده فيزيك دانشگاه سمنان . سمنان
Design, fabrication and study of the antireflective
coating property using glancing angle deposition
(GLAD) technique
Omrani, Amir Hossein; Zarei moghadam, Reza; Ehsani, Mohammad hossien;
‘Rezagholipour Dizaji, Hamid
صفحه 9:
چکیده
در پژوهش حاضر. خواص ساختاری و اپتیکی ساختار چندلایه ای سولفید روی و منيزیم
فلوئورید لایه نشلنی شده بر روی زیرلایه ی شيشه. مورد بررسی قرار گرفته است.
فرآیند لایه نشلنی جه روش رسوب فیزیکی بخار در محفظه خلا صورت گرفت تك لايه و
دو لایهبه کمک روش رشد زاویهای خراشان در زاییه 80 درجه ساخته شد. بررسی های
اپتیکی روی طیف عبور نمونه هاء بهبود خاصیت نابازتابندگی نمونه ی چندلایه را نشان
می دهد. همچنین نتلیج نشان می دهد که علی رغم افزلیش ضخلمت لین نمونه نسبت به
نمونه ی تک لایه ی آّن. ضریب شکست آن کاهش یافته است که زمینه را برای تولید
سلولهای خورشیدی متمایز جدیدی ابجام کوج و [وت.
In the present study, the structural and optical properties of the
multilayer structure of zinc sulfide and magnesium fluoride layer
deposited on glass substrate were investigated. deposition process
was performed by physical vapor deposition method in vacuum
chamber. Monolayer and double layer were made by glancing angle
deposition (GLAD) method at 80 ° angle. Optical investigations on
the spectra of the samples show improvement in the immobilization
property of the bilayer sample. The results also show that despite
increasing the thickness of this sample compared to its monolayer
sample, its refractive index has decreased, which has created the
ground for the production of new distinctive solar cells.
صفحه 10:
خواص ريخت شناسى 8
تصوير عرضى از يوشش تكلايه و دولايه در شكل أورده شده است.با استفاده
از تصویر عرضی زاهیه نمونه تک لایه حدود 76 درجه و برای نمونه دولایه حدود
4 درجهبه دست آمد. ضخامت نمهنه اول 228 نانومتر. و ضخامت نمونه نمونه
دولایه برای لایه اول 150 نانومتر و لایه دوم 230 نانومتر به دست آمدند. تصاویر
نشان می دهد که لابه ها به صورت متخ
ها
) 009 5200:1000
ا
صفحه 11:
خواص ساختاری
oe fal
simleodoo)
نتیجه گیری
در لین مقلله سولفیدروی و منیزم فلورید.با استفاده از روش رشد زاوییه ای خراشان.به صورت پوشش
های تک للیه و دولایه لایه نشلنی شدند. خواص ساختاری و اپتیکی نمینه ها مورد بررسی قرارگرفت.
آزمون (26181 ساختار مکعبی شکل نمونه را نشان داد و آنالیز 112551 تشکیل تک لایه و دو AY
وهمچنین زاییه للیه نشلنی رابه خوبی تایید کرد..با بررسی خواص اپتیکی نمونه ى دو لاليه نسبت به
تک لایه. مشاهده شده است که با وجود ا و ضریب شکست آن در
طول موج ۹۵۰ نانومتر از ۷/۲ به 4٩/۲ كاهش بيدا کرده است. لین نتیجه تاثیر روش رشد زاویه ای
خراشان در خواص اپتیکی لايه نازك را نشان عى دهد. لين نتيجه عاملى موثر.به منظور بهبود خاصیت
نابازتابنده پوشش های اپتیکی است
tenn)
صفحه 12:
Optical Design and fabrication of multi-layers
MgF./ZnS/MgF, antireflection coating for
Improved performance solar cell
ABSTRACT -AHOmrani, R. Zarei Moghadam, M.H. Ehsant
In this woFR RIS موصت ام طلم عقوا" وراك sts Republi مت program
and prepared with physical vapor deposition (PVD) using Glancing- angle Deposition
technique (GLAD) at oblique angles incident (a = 40°, 65°,70°, 80°). optical properties
and Structural and surface morphology of the film MgF,/ ZnS thin films deposited
properties by technique GLAD were studied using X-ray diffraction analysis (XRD) , UV-
visible spectroscopy analysis and field emission scanning electron microscopy pore
complex (FESEM) . The X-ray diffraction indicated that the thin films coated at
different incident angles and substrates were crystallized in single phase with
orthorhombic while a change of the growth orlentation observed in the samples
prepared at a=70" and 80°, In addition, the presence of a = 80°,80° in some samples
was also detected. The results showed the film crystallinityed is improvement grain size
dependence increment. Also optical properties were investigated in detail throughout
module of transmission spectra of these films and refractive index change and visible
region of the extinction . The optical transmission spectrum results show a good
agreement between designed and deposited films. The refractive Index of samples was
decrease from 2.13 to 2.83 as the deposition angle increases from 0° to 80°. The
extinction coefficient of samples was increase from 0,03849 to 0.05997 as the
deposition angle increases from 0° to 80°.
صفحه 13:
۱
device
The various section of the
designed device have been
introduced. The stepper وردنا
motors apply to slope and substrate
rotate the substrate are
controlled by an AVR schedule
microcontroller. The
controlling commands are
transferred to the stepper
motor sthrough two electrical
feedthroughs. To retain the
substrate temperature during
the deposition process at
Compartment temperature ,
new liquid (for example cold
water) circulating system
containing a copper pile acting
as a warmth exchanger
dependent to the copper
substrate warmer was used.
The warm exchanger is
connected to this warmer
apply a roller bearing.
صفحه 14:
Sample 5 5 Ss 5 5
0تسا . 1 2 2 7 7
Depostion angle 70 40 © 8
(degree)
3. Results and discussions
3.1 Morphological properties
‘The FESEM cross-section images of the S,, S,, and S, samples are presented in Fig. 2. The
images indicate that obliquely formed columnar structures are porous . Using the FESEM
cross-section images, the thin flms thickness was calculated The relation between the
incident vapor fallow angle (a) and columnar angle (B ) is given by the following equations:
(Q) For @ < 60 tog B =1/2 ( toga)
2) and for a > 60 B = a - Are sin ( 1- cos a) /2
je find the angle of the angles.Por s, the angle of descent is 74.58 degrees ,198nm and
For s,, the angle of descent is 36.48 , 24.60 degrees, the film thickness is 216 , 294.8nm
‘The edi
g of s,, the landing angle is 17.28» degrees, the degree of film thickness is 294,
214nm, and for s, the landing angle is74.31,17.28 degrees the degree of film thicknes:
266, 223 nm, and for s, the landing angle is 76.83 degree for 244nm , and for 202nm the
landing is 19.42 degree and for 143nm is 0° degree tail says that the equation is thebest
relation between a and b
صفحه 15:
Signal A=InLens User Le
68mm Mag= 5000KX —_User= GSI
صفحه 16:
—
3.2 Structural properties 3.3 Optical properties
ap
۳
10 (2)
سس
زا سس
سم
8
مه مه اسه طم مضه © ص اله اه © & © امس
دمع ماسم @
صفحه 17:
Parameters of MgF, / zns films obtained for samples from optical
and microstructure characterization.
صفحه 18:
۵ تیا و cba, ond و9 [1]
مس تا با a جر بلط
۰ سا لس * قاری با موجه جوا
op ۱ هی مت هم
مراجع one
ون .0 Trreky, od hbe .© ای ,0 تست بلق []
سس يس ا 0
افسو ةس شبن نيف ن زج 000 سوه :0 بمسسيم0 امد سمه rt Qarek ©
| تست
p. (2010). 2۵ ,۵۳:9 (01) بت م۳
۱
نمی 0 با ۵۱ لباق ,سس بلاق عا col سین مه مساق مر تس
one ۱
ee ل wr. 8 (BODO): 688- ere ,006 نراقت :سل "یج
تن oP ةا ty "ميات oor:
[0] Oeil, 0. 1. Mtns Sheen tater: eke Soe ۹ Seer, hen
to ter wou eburva werorcopy Por مس
هه مه بت رس توت eben.” sowed oP windy wee 27, w. 8 (2002): 616) cathe, Pant
The weer oP backertered ctor bs woven obctro 5
[9] Over, oom, ©. enw, 21 دا هن( ده نس سم WF we O
"Oyplrare oP woomim vcrvy wero (O00)
صفحه 19:
۳ 7
تان كمال
ن قوجهتان
د
7 سباسكذارى ر رد
باتشكر