تکنیک خلا SEM
اسلاید 1: پروژه درس تکنیک خلاSEM موضوع:ارائه دهنده: امیر ملازادهاستاد راهنما: دکتر راستانیبهار 89
اسلاید 2: SEM
اسلاید 3: تاریخچه*فرضیه دوبروی مبنی بر خاصیت موجی الکترون 1923 1932 Knoll & Ruska *ساخت اولین میکروسکوپ الکترونی توسط 1938 Von Ardenne توسط SEM*ساخت اولین 1965 Cambridge تجاری توسط SEM *ساخت نخستین
اسلاید 4: مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی*در ميكروسكوپ نوري شايد بتوان با تغيير انحناي (تقعر و تحدب) سطح عدسي‌ها و تعداد آنها بزگنمائي تصاوير را به هر مقدار زياد كرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاوير در بزرگنمائي‌هاي بالاي 2000 وضوح خود را از دست*در ميكروسكوپ الكتروني به جاي نور از شعاع الكتروني استفاده مي‌شود. چون طول موج الكترون بسيار كوتاه است ميتوان در ميكروسكوپهاي الكتروني بزرگنمائي تصاوير را بسيار بالا برد (تا حد يك ميليون برابر در بعضي از ميكروسكوپهاي الكتروني و يا بيشتر)*الكترون بر خلاف نور نميتواند به آساني در هوا حركت كند، در نتيجه بايد در مسير حركت الكترون و محفظه نمونه خلأ بسيار قوي ايجاد كرد
اسلاید 5: Electron (E=10Kev ) λ≈0.4 nmVisible light 400 nm < λ < 700 nm
اسلاید 6: SEMبخش های مهم تفنگ الکترونیعدسی هادهانه ها سیم پیچ های روبشیسیستم ایجاد خلا محفظه نمونهنمایشگر
اسلاید 7: تفنگ الکترونیالکترون ها از کاتد ساطع شده با عبور از میان اختلاف پتانسیل دهها یا صدها کیلوولتی شتاب گرفته در روی نمونه متمرکز می شوند1- تفنگ الکترونی تنگستن نیاز به خلا در حدود 10-5 TorrLaB6 2- تفنگ الکترونی Torr 10-نیاز به خلا در حدود 73- تفنگ گسیل میدانیTorr 10-نیاز به خلا بهتر از 9
اسلاید 8: عدسی ها1- عدسی های چگالنده*باریکه الکترونی را همگرا می کنند2- عدسی شیئی*عمل کانونی نمودن باریکه روی نمونه را انجام می دهند*در بزرگنمایی نقش دارندماهیت این عدسی ها الکترومغناطیسی است
اسلاید 9: دهانه ها در هر میکروسکوپ معمولا یک یا چند دهانه مورداستفاده قرار می گیردکار دهانه حذف یا به حداقل رساندن الکترون های اضافی استسیم پیچ های روبشیسبب حرکت باریکه الکترونی بر روی نمونه می شود
اسلاید 10: سیستم ایجاد خلا مهمترین دلایل نیاز میکروسکوپ الکترونی روبشی به خلا:1- الکترون ها به راحتی توسط مولکول های گاز پراکنده شده به 15(انرژی) الکترونها فقط Kev حدی که در شرایط فاقد خلا، باحدود 10 سانتی متر امکان نفوذ پیدا می کنند2- خلا از اکسیداسیون نمونه ها جلوگیری می کند3- در نبود خلا سطح نمونه آلوده می شود
اسلاید 11: پمپ های خلا مورد استفادهپمپ های خلا که معمولا در میکروسکوپ الکترونی مورد استفاده قرار می گیرند عبارتند از: پمپ توربو، پمپ دورانی، پمپ دیفیوژن، پمپ روغنی، پمپ یونی و . . .
اسلاید 12: پمپ دورانی*معمولا حجیم*ارزان قیمت*یک مرحله ای و دو مرحله ای
اسلاید 13:
اسلاید 14: پمپ توربو مولکولار* با سرعت چرخش بیش از 2000 دور بر دقیقه* محیط پاک و خالی از روغن Torr 10-8*خلا تا
اسلاید 15: Turbo pump performanceTurbo pumps can start even at atmospheric pressure (although they labor) and they can go down to 10-8 TIt is best to pre-pump the system with a clean backing systemTMP do not pump all gases with same efficiency - large molecules are pumped faster than smaller molecules
اسلاید 16: Ion PumpsIonized molecules spiral in magnetic field and get buried in Ti wall coatingA large number of these structures are run in parallel to improve the pumping speedDiode pumps only handle gases that are easily ionized (no noble gases)
اسلاید 17: Coloured SEM image of soybean cyst nematode and egg. The colour makes the image easier for non-specialists to view and understand the structures and surfaces revealed in micrographsSEM image of normal circulating human blood. This is an older and noisy micrograph of a common subject for SEM micrographs: red blood cells.SEM image of a photoresist layer used in semiconductor manufacturing taken on a field emission SEM at 1000 volts, a very low accelerating voltage for an SEM, but achievable with field emission SEMs–this one taken with a Schottky field-emission gun. These SEMs are important in the semiconductor industry for their high resolution capabilities.
نقد و بررسی ها
هیچ نظری برای این پاورپوینت نوشته نشده است.