صفحه 1:
به نام خدا
Onterutar beac epina
صفحه 2:
لایه نشانی باریکه مولکولی DBE
صفحه 3:
مكانيزم :
0- سلولهاى تبخير
© كانال هاى نيتروزن مايع
9 زيرسازه
<4- روشهاى آناليزوتحليل
RWEEDO , 8
0 محفظه خلاء و پمپهای خلاء
عادص دمص ”اج
Sarnpia Blocks
Substate Hester
lanizatiand
EP Gauge
Eryopsnels
eyes ی
Fluorescent
‘Screen
Shuts
صفحه 4:
ازمهمترین اجزا
تحمل
دمای (POD درجه سانتیگراد
نرخ جریان ماده باهندسه سلول و
فشار بخار ماده معین میشود.
سلول های انجمریها و
اجزا : - کوره 0- فیلمان 0-محافظ انتقال حرارت
P ترموکوپل 0 شاتر مکانیکی shutter
صفحه 5:
MBE process
صفحه 6:
کانالهای نیتروژن
¢ محفظه رشد وسلولهای تبخیر را دربر میگیرد.
* سلولهای رشد را از همدیگر ایزوله میکند.
صفحه 7:
زیر سازه
به منظور رشد یکنواخت لابه پیوسته در حال چرخش
Wester
Ole 8 GOS 0 Sal sly qe يك
الإطأج 2ك جا اتاجا 7 Ouss برلیلندازم گیریسطح ونسبت
تركيباتدرونمحفظه رشد.
صفحه 8:
ادوات آنالیز وتحلیل
٠ : ۷,)6۶0/٩)پراش الکترونی پرانرژی بازتابی
:
i
i
ع
٠ : 80008 آناليز كازهاى باقيمانده
صفحه 9:
OCCOOD CTLCODCOER
در عمل خلا0)0) © Dorr -dO™"
گازباقیمانده عمدتا یرل است.
محفظه از فولاد زنگ نزن .
تحمل دما تا 00000 درجه درمدت زمان طولانی
صفحه 10:
صفحه 11:
MBE sources
Water-cooted
thermal isolator
UHY pump
‘stage UHY pump
Rough pump
Sample exchange Sampic cary
صفحه 12:
صفحه 13:
é wie oe 06 ۰ 2
8) روشیزمانبر و کگرلنولیدقیقوبا کیفیت
یب ولیدقیقوبا کیفی
صفحه 14:
منابع
مر کل ملحمسصخا ,بوكرب مسا مامت asic oP
repent CODE, uaiversiy oF uke
ماه سس
انجمن ان ©-
سوم ول امه اوه ماو نها کم و
epi -icirocdutiza. kieol"> Wow wookeoukar bear epi
<works</a
صفحه 15:
معرقت
last ub ely lls el» cul galls MBE لينكسيال وبا كيفيت بال و كول لاي يه gal كار يرود اززمان معرقي اين دستكاه در ال ۹۱۰ زاین
دستگاه هط MBE ain Sa pled aba al Lad Bye gi aa sl pana بسيار سادة ميباشد دراين تكن نع وبا خوش عفاي
نمی با حررت دلين بك ماده دريك منبع توليد عي شوند سبس در خلاء فوقالعاده بالا حركت كرده ويه يك سطح كريستاي بيش كرم شده برخوردميکند. ان اقا و با خوشاياندي بر
روي سطع كريستلي رشد ميكند برخلاق امول كار ska aa fo Nan lis ae ir lake
تتقيك 186 قامبتفاي بسي در كترل فصل مشترققا. عناص دوب شده وزيري سطع دارد خلء بسيار بل نز اكات رشد مولد با خلوص بالا را فرلقم سوأورد علا بر مود درم
تكنيك ميتوان ازيراب برلش الكتروني برات آالير وبررسي نحوه رشد فيل اطلاعاتي ر| يدست أورد.
7- ره دستگاه ۷۵۴
در شک [1) شماتك دستئاة 106! مشلقده ميشود برذي لز اجزله اساسب دستگاه دزي ميشوند.
صفحه 16:
صفحه 17:
صفحه 18:
lig ta ial
