Molecular beam epitaxy

Molecular beam epitaxy

اسلاید 1: به نام خدا Molecular beam epitaxy

اسلاید 2: لایه نشانی باریکه مولکولی MBE :1-تاریخچه2-MBE چیست؟3-کاربرد

اسلاید 3: مکانیزم : 1- سلولهای تبخیر effusion cells2- کانال های نیتروژن مایع3- زیرسازه4- روشهای آنالیزوتحلیل RHEED , RGA5- محفظه خلاء و پمپهای خلاء

اسلاید 4: سلول های تبخیر ازمهمترین اجزا تحمل دمای 1400 درجه سانتیگرادنرخ جریان ماده باهندسه سلول وفشار بخار ماده معین میشود.سلول های laugmuitاجزا : 1- کوره 2- فیلمان 3-محافظ انتقال حرارت 4- ترموکوپل 5- شاتر مکانیکی shutter

اسلاید 5:

اسلاید 6: کانالهای نیتروژن محفظه رشد وسلولهای تبخیر را دربر میگیرد.سلولهای رشد را از همدیگر ایزوله میکند.

اسلاید 7: زیر سازه به منظور رشد یکنواخت لایه پیوسته در حال چرخش میباشد.Heaterیک gauge برای اندازه گیری نرخ جریانMass spectrometry برای اندازه گیری سطح ونسبت ترکیبات درون محفظه رشد.

اسلاید 8: ادوات آنالیز وتحلیل : RHEEDپراش الکترونی پرانرژی بازتابی : RGA آنالیز گازهای باقیمانده

اسلاید 9: VACUUM CHAMBER در عمل خلا10 -12 Torr -10-11گازباقیمانده عمدتا H2 است.محفظه از فولاد زنگ نزن .تحمل دما تا 200 درجه درمدت زمان طولانی

اسلاید 10: پمپ هاIon pumpsCryo pumpsDiffusion pumps or turbo molecular pumpsTitanium sublimation pumping

اسلاید 11:

اسلاید 12: Ti-sublimation pump

اسلاید 13: MBE روشی زمان بر و گران ولی دقیق وبا کیفیت خلوص بالا میباشد.

اسلاید 14: منابع 1-Basic of molecular beam epitaxy, fernando rinaldi ,annual report 2002, university of ulm2-nano-ir.mht.htmانجمن نواندیشان ایران 3-4<a href=http://www.explainthatstuff.com/molecular-beam-epitaxy-introduction.html>How molecular beam epitaxy works</a>